Parzûna gazê ya nîvconductor çi ye?

Hilberîna nîvconductor teknolojiya nûjen hêzdar dike, ku xwe dispêre pêvajoyên rastîn ên mîna etching, depokirin, û fotolîtografî.

Van pêvajoyan gazên ultra-paqij, yên wekî nîtrojen û hîdrojenê dixwazin, ku divê ji gemaran bêpar bin da ku qalîteya hilberê misoger bikin.

Parzûnên gazê yên nîvconductorbi rakirina nepakiyên mîna şilbûn, hîdrokarbon û parçikan re rolek girîng dilîze, paqijiyê misoger dike.

ji bo hilberîna bikêr û pêbawer hewce ye.

Parzûna gazê ya nîvconductor çi ye?

A Parzûna gazê ya nîvconductorAmûrek parzûnê ya pispor e ku ji bo rakirina gemarên wekî parçik, şil û hîdrokarbonan ji

gazên ku di hilberîna nîvconductor de têne bikar anîn. Van fîlteran paqijiya ultra-bilind a ku ji bo pêvajoyên wekî etching, depokirin, û lîtografî tê xwestin peyda dikin,

li ku derê nepaqijiyên mîkroskopî jî dikarin kalîteya hilberê têk bibin.

Van parzûnan bi gelemperî ji materyalên pêşkeftî yên mîna têne çêkirinpolayê zengarnegir sintered, PTFE (polytetrafluoroethylene), ûseramîkên, ku

berxwedana kîmyewî ya hêja, domdarî, û lihevhatina bi pergalên gazê yên paqijiya bilind re peyda dikin. Bi domandina herikên gazê yên bê gemar,

Parzûnên gazê yên nîvconductor di bidestxistina rastbûn û pêbaweriya bingehîn a ji bo hilberîna mîkroçîpê ya nûjen de rolek girîng dileyzin.

Çima Parzûnên Gazê yên Semiconductor Girîng in?

Pêvajoyên hilberîna nîvconductor ji gemaran re pir hesas in.

Tewra nepaqijiyên mîkroskopî jî dibe sedema kêmasiyan di waferan de, ku bibe sedemaberhem kêm kirin,

performansa cîhazê tawîz da, û lêçûnên hilberînê zêde kir.

Conteminants Commonlinavxistin:

*Particles:

Toz, şûşeyên metal, an bermayiyên din ên hişk.

*Şilî:

Dikare bibe sedema reaksiyonên kîmyewî yên ku waferan hilweşîne.

*Hîdrokarbon:

Bermahiyên nedilxwaz destnîşan bikin an jî mudaxeleyî pêvajoyên kîmyewî bikin.

Gazên nepak di pêvajoyên krîtîk ên wekî etching an depokirin de dikarin bibin sedema tebeqeyên nehevseng, dorhêlên xelet,

û chips red kir.

Parzûnên gazê yên nîvconductor

ji bo misogerkirina paqijiya gazê, parastina kalîteya wafer, û domandina kargêriya xetên hilberînê girîng in.

Cureyên Parzûnên Gazê yên Semiconductor

1. Parzûnên Particle

*Ji bo rakirina pariyên hişk, wek toz û bermayiyan, ji herikên gazê hatine çêkirin.

* Mezinahiyên porê yên pir-tenik (mînak, jêr-mîkron) destnîşan bikin da ku gemaran bigire bêyî ku herikîna gazê sînordar bike.

* Bi gelemperî ji materyalên mîna pola zengarnegir a zintirkirî ji bo domdarî û berxwedana kîmyewî têne çêkirin.

2. Parzûnên Contaminant Molecular

* Bi taybetî ji bo rakirina nepakiyên di asta molekularî yên wekî şil û hîdrokarbonan de hatine çêkirin.

* Bi gelemperî materyalên pêşkeftî yên wekî PTFE an karbona çalakkirî bikar bînin da ku gemaran bi kîmyewî an fizîkî veşêrin.

* Ji bo domandina paqijiya ultra-bilind di pêvajoyên ku ji şilbûnê an bermahiyên organîk hesas in de girîng e.

3. Parzûnên hevgirtî

* Parzûnkirina pir-tebeqê pêşkêşî bikin da ku hem parçik û hem jî gemarên molekularî bi hevdem re mijûl bibin.

* Ji bo herikên gazê yên bi profîlên cihêreng ên nepakiyê îdeal e.

* Teknolojiyên wekî materyalên ziravkirî yên ji bo parzûna parçikan û adsorbentên kîmyewî tevbigerin

ji bo rakirina qirêjiya molekulî.

Berawirdkirina Sêwiran û Teknolojiyên Parzûnê

*Parzûnên Metal ên Sintered:

Ji bo rakirina perçeyan di pergalên tansiyona bilind de domdar û bi bandor.

* Parzûnên Bingeha Membranê:

Parzûna molekularî ya hêja peyda bikin lê dibe ku zextên kêmtir hewce bike.

* Parzûnên Hybrid:

Teknolojiyên ziravkirî û membranê ji bo fîlterasyona berfireh di sêwiranên kompakt de tevlihev bikin.

Hilbijartina parzûnê bi gaza taybetî, şert û mercên xebitandinê û xetereyên gemarê ve girêdayî ye

pêvajoya semiconductor.

Taybetmendiyên sereke yên Parzûnên Gazê yên Semiconductor

1. Efficiency Parzûna

*Ji bo parzûnkirina asta jêr-mîkronî hatîye sêwirandin ku tewra perçeyên herî piçûk û gemarên molekulî jî ji holê rake.

* Gazên paqijiya ultra-bilind ên ku ji bo pêvajoyên nîvconduktorê hesas krîtîk in misoger dike.

2. Berxwedana germî û kîmyewî ya bilind

* Ji materyalên mîna polayê zengarnegir û PTFE hatî çêkirin da ku li ber germahiyên tund bisekinin

û gazên gemarî.

* Ji bo serîlêdanên cihêreng ên ku hawîrdorên reaktîf an germahîya bilind têkildar in maqûl e.

3. Durability û Jiyana Karûbarê Dirêj

*Ji bo karanîna dirêjkirî bi hilweşîna hindiktirîn ve hatî çêkirin, frekansa guheztinê û dema domandinê kêm dike.

* Materyal li hember xitimandinê li ber xwe didin, performansê di demên dirêj de diparêzin.

4. Lihevhatina bi Pergalên Gazê yên Paqijiya Ultra-High

* Ji bo ku bi rengek bêkêmasî di boriyên paqijiya bilind de bêyî danasîna gemaran were entegre kirin.

* Ji bo paqijiyê standardên pîşesaziyê bicîh bînin, di hilberîna nîvconductor de performansa domdar misoger dike.

Van taybetmendiyan fîlterên gazê yên nîvconductor ji bo dabînkirina karîgerî, pêbawerî, û

kalîteyê di hawîrdorên hilberîna pêşkeftî de.

Serîlêdanên Parzûnên Gazê yên nîvconductor

1. Pêvajoyên Semiconductor

*Extandin:

Parzûn gazên ultra-paqij peyda dikin da ku pêşî li kêmasiyên di qalibên ku li ser waferan hatine xêzkirin bigirin.

* Depokirin:

Ji bo çêkirina fîlimên zirav ên yekalî yên kîmyewî û fîzîkî gazên paqijiya bilind hewce ne

pêvajoyên hilweşandina buharê (CVD û PVD).

*Lîtografiya:

Parzûnên gazê bi rakirina nepakiyan rastbûna pêvajoyên fotolîtografîk diparêzin

ku dikare mudaxele bikebi ronahiyê an reaksiyonên kîmyewî.

2. Gazên Pêdiviya Parzûnê

*Azot (N₂):

Ji bo paqijkirinê û wekî gazek hilgirê tê bikar anîn, ji bo ku ji qirêjiyê dûr nekevin paqijiya bêkêmasî hewce dike.

*Argon (Ar):

Ji bo pêvajoyên plasma û hilweşandinê, ku nepakî dikarin aramiyê têk bibin, pêdivî ye.

*Oksîjen (O2):

Di pêvajoyên oksîdasyon û paqijkirinê de tê bikar anîn, pêdivî bi peydakirina bê gemarî heye.

*Hîdrojen (H2):

Ji bo kêmkirina hawîrdorên di depokirin û xêzkirinê de, bi tola nepakî ya kêm krîtîk erace.

3. Industries Beyond Semiconductors

* Derman:

Gazên ultra-paqij ji bo çêkirin û pakkirina hilberên hesas.

*Aerospace:

Pêvajoyên hilberîna rastîn bi hawîrdorên gaza paqij ve girêdayî ne.

*Xwarin û vexwarin:

Parzûn ji bo pakkirin û hilberandinê gazên bê gemar peyda dikin.

Parzûnên gazê yên nîvconductor ji bo îmkankirina rastbûn, karîgerî û kalîteyê di her duyan de girîng in.

çêkirina nîvconductorû serîlêdanên din ên paqijiya bilind.

Meriv çawa Parzûna Gazê ya Nîvconductor Rast Hilbijêre

1. Faktorên ku li ber çavan bigirin

*Tîpa gazê: Gazên cihê metirsiyên pîsbûnê yên cihêreng hene (mînak, şilbûna nîtrojenê, hîdrokarbon ji bo hîdrojenê). Parzûnek ku li gorî gaza taybetî hatî çêkirin hilbijêrin.

* Rêjeya herikînê: Piştrast bikin ku parzûn dikare herikîna gazê ya pêdivî bi rê ve bibe bêyî ku bandorê li ber xwe bide an daketinên zextê pêk bîne.

* Zexta Xebatê: Parzûnek ku ji bo rêza zexta pergala we hatî çêkirin hilbijêrin, nemaze di hawîrdorên tansiyona bilind de.

* Lihevhatî: Piştrast bikin ku materyalên parzûnê bi gazê û pêkhateyên din ên pergalê re bi kîmyewî re hevaheng in.

2. Girîngiya Mezinahiya Pore û Hilbijartina Materyal

* Mezinahiya porê: Parzûnek bi mezinahiyên porê yên guncan ji bo rakirina gemaran bi karîgeriya xwestinê hilbijêrin (mînak, astên jêr mîkron ji bo sepanên krîtîk).

*Mal: Ji bo materyalên domdar ên mîna hilbijêrinpolayê zengarnegir sinteredji bo perçeyan an PTFE ji bo gemarên molekularî, ku berxwedana li hember korozyon, germ û zextê misoger dike.

3. Serişteyên ji bo Maintenance û Replacement

* Bi rêkûpêk fîlteran ji bo xitimandin, kişandin, an performansa kêmkirî kontrol bikin.

* Ji bo paqijkirin an guheztina parzûnan rêwerzên hilberîner bişopînin da ku pêşî li avabûna gemarê bigirin.

* Amûrên çavdêriyê, heke hebin, bikar bînin da ku karbidestiya parzûnê bişopînin û dema ku veguheztin hewce ne nas bikin.

Bi bi baldarî nirxandina van faktoran û bi rêkûpêk domandina parzûnan, hûn dikarin paqijiya gazê û performansa pergalê ya di sepanên nîvconductor de misoger bikin.

Di Teknolojiya Parzûna Gazê ya nîvconductor de pêş dikeve

1. Nûbûn di Zanistiya Materyal de

* Parzûna Nano-Particle: Pêşxistina materyalên pêşkeftî yên ku bikarin gemaran di asta molekulî an atomî de bihêlin.

Ev ji bo pêvajoyên nîvconduktorê pir-hesas astên hîn bilindtir ên paqijiya gazê misoger dike.

* Materyalên Hybrid: Tevlihevkirina metalên ziravkirî bi polîmerên pêşkeftî re ji bo afirandina parzûnên ku hem domdar û hem jî domdar in

di rakirina gemarên cihêreng de pir bi bandor.

2. Pergalên Parzûna Smart

* Kapasîteyên şopandinê yên çêkirî:

Yekbûna senzorên ku performansa fîlterê, daketina zextê, ​​û astên gemariyê di wextê rast de dişopînin.

*Parastina Pêşbînî:

Pergalên zîrek operatoran agahdar dikin dema ku parzûnek pêdivî bi paqijkirin an guheztinê heye, dema domandinê kêm dike û nexşeyên lênihêrînê xweşbîn dike.

3. Sêwiranên Berdewam û Enerjî-Efficient

* Materyalên Eco-Friendly:

Parzûnên ku bi hêmanên vezîvirbar an jîngehê dostane têne çêkirin da ku çopê kêm bikin.

* Karbidestiya Enerjiyê:

Sêwiranên ku daketinên zextê û xerckirina enerjiyê kêm dikin, karbidestiya pergalê bêyî tawîzkirina kalîteya filtrasyonê baştir dikin.

Van pêşkeftinan ne tenê performansa parzûnên gazê yên nîvconductor zêde dikin, lê di heman demê de di lêçûn û lêçûn de jî beşdar dibin

domdariya hawirdorê, çareserkirina daxwazên mezin ên pîşesaziya nîvconductor.

Xelasî

Parzûnên gazê yên nîvconductor ji bo dabînkirina gazên ultra-paqij, parastina kalîteya wafer, û xweşbînkirina kargêriya hilberînê pir girîng in.

Rola wan di pêşkeftina teknolojiya nîvconductor û pêkanîna standardên pîşesaziyê yên hişk de krîtîk e.

Ji bo çareseriyên lihevhatî, bi pisporan re şêwir bikin ku ji bo hewcedariyên xwe fîlterên çêtirîn hilbijêrin û di karûbarên xwe de performansa herî zêde misoger bikin.