Fîlterên C-Seal ên Çêkirina Rûyê IGS yên Pêşketî ji bo Sîstemên Gaza Nîvconductor ên Ultra-Pure
Terîf
Fîlterên Rûyê HENGKO ji bo bicîhanîna hewcedariyên dijwar ên pergalên gazê yên entegre yên ku di amûrên OEM-ê yên nîvconductor de têne bikar anîn hatine çêkirin. Van fîlteran, ku fîlterkirina pêşeng a pîşesaziyê li 0.003 µm pêşkêş dikin, performansek û pêbaweriyek bêhempa bi karîgeriya girtina perçeyan a ≥99.9999999% (9-LRV) li 120 slpm peyda dikin.
Ev fîlter ji toza pola zengarnegir a 316L ya zexm ku ji bo hêmana fîlterê û xanî hatiye sinterkirin hatine çêkirin, li gorî taybetmendiyên SEMI F86-0304 ne, û pêkhateyên du-dergehî yên ji bo pergalên belavkirina gazê yên 1.125" bi veavakirina C-seal hatine çêkirin vedihewînin. Ew zexta herî zêde ya ketinê ya 3.4 MPa li 100°C û cûdahiya zexta xebitandinê ya herî zêde ya 0.69 MPa li 100°C piştgirî dikin.
Ev fîlterên taybet, ku bi taybetmendiyên mohra celebê C û celebê W re hevaheng in, bi berdana perçeyan paqijiya jêrîn bi dest dixin.
Bi rûbera Ra< 1.6 µm li derve û RaJi ber ku di hundir de < 0.13 µm e, ew ji bo ku li hember germahiyên bilind ên heta 460°C bisekinin hatine sêwirandin. Ji bo entegrasyon û nûvekirinên sêwirana modular hatine çêkirin, ev fîlter sazkirin û lênêrînê hêsan dikin, û dibin alîkar ku performansa pergalê di sepanên radestkirin û kontrolkirina gaza nîvconductor de çêtir bikin.
Taybetmendiya Berhemê
▶ Bi tevahî ji pola zengarnegir a 316L hatiye çêkirin
▶ Sêwirana mînyaturîzekirî, avahiyek kompakt, teserûfa cîh
▶ Taybetmendiyên guheztin û desorpsiyona gazê yên hêja
▶ Li hember germahiya bilind, zexta bilind û korozyonê berxwedêr e
▶ Xaniyê pola zengarnegir ê 316L yê elektro-polîşkirî
▶ Sazkirin û parastina hêsan û bibandor
▶ Morkirina mekanîkî, bi awayekî avahîsazî li ser navînê nehatiye weldkirin
Pelê Daneyan
| Parametreyên Teknîkî | Nirx |
|---|---|
| Materyalê Elementa Parzûnê | Toza Sînterkirî ya Pola Zengarnegir 316L |
| Materyalên Xanî | Pola Zengarnegir a 316L |
| Zexta Herî Zêde ya Ketinê | 3.4 MPa @ 100°C |
| Cûdahiya Xebitandinê ya Herî Zêde | 0.69 MPa @ 100°C |
| Rêjeya Derketina Verastkirina Helyûmê | 1x10⁻¹¹ cc/deqîqe |
| Rêjeya Derketina Testa Helyûmê | 1x10⁻⁹ cc/deqîqe |
| Dermankirina Rûyê | Rûyê Derveyî Ra< 1.6 μm |
| Rûyê Hundirîn Ra< 0.13 μm | |
| Germahiya Xebitandinê ya Herî Zêde | 460°C |
| Karîgeriya Girtina Perçeyan | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS-ya referansê, hemî perçe) |
| Paqijiya Jêrzemînê | Berdana Perçeyan:< 0.03 perçe/lître (< 1 perçe/ft³) |
| Madeyên firar:< 10 ppb şilbûn | |
| Mezinahiya Girtina Perçeyan | ≥0.003 μm |
| Rêzeya Herikînê | 0 ~ 120 slpm |
Mezinayî
Li vir hejmara parçeyê ku hûn dikarin siparîş bikin û hûrguliyên mezinahî hene:
| Modela Berhemê | Rêjeya Herikînê | Bilindahî H (mm) | Rastbûna Parzûnê | Asta Paqijkirinê |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
Serlêdanên Tîpîk
Ji bo bikaranîna bi W-seal û C-seal, sîstemên radestkirina gazê yên modular ên 1.125" û 1.5" ên ku li ser rûyê erdê têne montajkirin.
Peyama xwe ji me re bişînin:
