Veguhezkera zextê ya silicon a monokristalîn, dîska parzûna porez a metalî ya sinterkirî
Bikaranîna senzora zextê ya teknolojiya piezoresistive silicon yek krîstal, sepanên pîvandina asta şilavê ya pîşesaziyê pêvajoyê dike
Materyalên dîskê parzûnkirî: 316L polayê zengarnegir, Hastelloy C
Sensora zextê ya teknolojiya piezoresistive ya sîlîkonê ya yek krîstal e, zexta di nav dîska parzûnê ya pola zengarnegir û rûnê silîkonê vegirtina hundurîn de vediguhezîne prensîba çîpê hesas a hundurîn a xebatê, hilberîna bilez, hesasiyeta bilind, rast û bi îstîqrar, piçûkkirina pêvajoya hilberînê ya hêsan, û çîpê hesas dibe ku rasterast bi navgîniya pîvandî re têkilî neke.
Dîska parzûna ziravkirî ya polayê zengarnegir bi taybetmendiyên germahiya bilind û berxwedana korozyonê t dikare bi karanîna hawîrdora veguhezkera silicon a monokrîstal baş were adapte kirin û rola xwe ya çêtirîn bilîze.
Veguhezkarê zexta sîlîkonê ya yek-krîstal ku sîlîkona yek-krîstal a bi performansa bilind bikar tîne, karanîna şiyana elektromagnetîk û rêbaza vibrasyona hilgirtina elektromagnetîk, bi kapasîteya dijber-destwerdana berbiçav, îstîqrar û ewledar, bê veguheztina A/D, gelo zexta bêkêmasî an cihêreng dikare pîvana were bidestxistin.
Parçeyek ziravkirî ya pola zengarnegir dikare li ber zexta 5KPAd bisekinin, ku ev bijarek baş e.
Parametreyên hilberê:
Mezinahiya porê: 0.2 ~ 100um
Taybetmendiyên hilberê pêşniyar kirin: 3.3 * 3mm