Parzûnên gazê yên nîvconductor

Çima pêdivî ye ku di pêvajoya çêkirina nîvconductor de fîlterên gazê bikar bînin? 

Parzûnên gazê di pêvajoya çêkirina nîvconductor de ji ber çend sedemên krîtîk bingehîn in:

1. Rakirina Contaminant

Çêkirina nîvconductor gelek pêvajoyên hesas vedihewîne ku tê de gemarên herî piçûk jî,

wek pariyên tozê, şil, an bermahiyên kîmyewî, dikarin bandorên xisar bikin. Parzûnên gazê jê dikin

pariyên, nepakî, û gemarên hewayê yên ji gazên pêvajoyê, misogerkirina jîngehek paqij

û parastina yekitiya waferên nîvconductor.

2. Parastina Standardên Ultra-Paqijiyê

Pîşesaziya nîvconductor di gazên ku têne bikar anîn de, ji ber ku nepaqijî dikare astek pir bilind a paqijiyê hewce dike

dibe sedema kêmasiyan di cîhazên nîvconductor de. Parzûnên gazê ji bo bidestxistina kalîteya gaza ultra-paqij, pêşîlêgirtinê dikin

gemarî û misogerkirina hevgirtî û pêbaweriya hilberan.

3. Amûrên parastinê

Germên di gazan de ne tenê dikarin zirarê bidin waferên nîvconductor lê di heman demê de zirarê bidin hestiyar jî

Amûrên ku di pêvajoya çêkirinê de têne bikar anîn, wekî reaktorên hilweşandina vaporê kîmyewî (CVD) û

sîstemên etching. Parzûnên gazê van makîneyên biha ji zirarê diparêzin, xetereya kêmkirina

demdirêj û tamîrên biha.

4. Pêşîlêgirtina windabûna hilberînê

Hilberîn di hilberîna nîvconductor de pir girîng e, ku kêmasî dikarin di hilberînê de windahiyek girîng derxînin.

Tewra yek perçek an nepaqijiya kîmyewî jî dikare bibe sedema windakirina hilberînê, bandorê li hilberandin û qezencê bike.

Parzûnên gazê piştrast dikin ku gazên pêvajoyê paqij in, qirêjiyê kêm dikin û windabûna hilberînê kêm dikin.

5. Temînkirina Kalîteya Hilberê

Lihevhatî û kalîte di çêkirina nîvconductor de serekî ye. Gazên gemarî dikarin biafirînin

nakokî, rê li ber amûrên semiconductor yên nebawer vedike. Bi karanîna parzûnên gazê, hilberîner dikarin

garantî bikin ku her kom bi standardên qalîteya hişk ên ku hewce ne pêk tîne, berbi cîhaza bilindtir ve dibe

performansa û dirêjî.

6. Kêmkirina Downtime

Di gazên pêvajoyê de gemarî dikare bibe sedema têkçûna amûrê, hewcedariya lênihêrînê an guheztinê hebe.

Bi karanîna parzûnên gazê, hilberîner dikarin demajoya neçaverêkirî kêm bikin, karbidestiya xebitandinê biparêzin, û

dirêjkirina temenê alavên krîtîk.

7. Lihevhatina Kîmyewî

Gelek gazên ku di pêvajoyên semiconductor de têne bikar anîn pir reaktîf an jî zerar in. Parzûnên gazê ne

hatiye dîzaynkirin ku li hember van hawîrdorên kîmyewî yên dijwar raweste dema ku bi bandor nepaqijiyan fîlter dike, misoger dike

pêvajoya ewle û bi bandor.

Bi tevayî, parzûnên gazê ji bo domandina paqijî, pêbawerî û ewlehiya nîvconductor girîng in.

pêvajoya çêkirinê, arîkariya bidestxistina hilberên nîvconduktorê yên qalîteya bilind, bê xeletî dema ku

jî parastina alavên giranbiha.

Cûreyên parzûnên gazê di pêvajoya çêkirina nîvconductor de

Di pêvajoya çêkirina nîvconductor de, cûreyên cûda yên parzûnên gazê têne bikar anîn ku ji bo cûrbecûr navnîşan bikin

qonax û kêşeyên ku bi paqijiya gazê û parastina alavên ve girêdayî ne.

Cûreyên fîlterên gazê yên ku bi gelemperî têne bikar anîn ev in:

1. Parzûnên Particulate

*Armanc: Ji gazên pêvajoyê re parçik, toz û gemarên din ên hişk jêbirin.

* Bikaranîn: Bi gelemperî di qonaxên cihêreng de têne saz kirin da ku wafer, jûreyên pêvajoyê, û amûran ji gemariya parçikan biparêzin.

* Materyal: Bi gelemperî ji pola zengarnegir, PTFE, an materyalên din ên ku domdarî û lihevhatina kîmyewî misoger dikin têne çêkirin.

2. Parzûnên molekulî an kîmyewî (Fîlterên Getter)

*Armanc: Ji bo rakirina gemarên molekularî yên taybetî, wek şil, oksîjen, an pêkhateyên organîk, ku dibe ku di gazên pêvajoyê de hebin.

* Bikaranîn: Dema ku gaza paqijiya bilind hewce ye, wekî di dema hilweşandin an pêvajoyên etching de tê bikar anîn.

* Materyal: Bi gelemperî bi karûbarê çalakkirî, zeolît, an materyalên din ên adsorbent têne çêkirin ku bi taybetî ji bo girtina nepakiyên molekulî hatine çêkirin.

3. Parzûnên Gazê yên Paqijiya Bilind

*Armanc: Ji bo bidestxistina standardên gazê yên paqijiya ultra-bilind (UHP), ku ji bo pêvajoyên nîvconductor krîtîk e ku nepakiya herî piçûk dikare bandorê li kalîteya hilberê bike.

* Bikaranîn: Van parzûnan di pêvajoyên wekî Depokirina Vapora Kîmyewî (CVD) û Etching Plasmayê de têne bikar anîn, ku nepakî dikarin bibin sedema kêmasiyên giran.

* Materyal: Ji polayê zengarnegir bi membranên pispor ve hatî çêkirin da ku di bin zexta bilind û şert û mercên giran de yekrêziyê biparêze.

4. Parzûnên Gazê yên Bulk

*Armanc: Paqijkirina gazan li cihê têketinê an berî belavkirinê li xetên çêkirinê.

* Bikaranîn: Li jor di pergala radestkirina gazê de cih digire da ku gazan bi girseyî parzîne berî ku ew ji amûrên kesane an reaktoran re werin peyda kirin.

* Materyal: Van parzûnan bi gelemperî ji bo hilgirtina jimarên mezin ên gazan xwedî kapasîteya bilind in.

5. Parzûnên Gazê yên Xala Bikaranînê (POU).

*Armanc: Ji bo ku gazên ku ji her amûrek pêvajoyek taybetî re têne şandin ji her gemaran bêpar in.

* Bikaranîn: Hema berî ku gaz bi alavên pêvajoyê ve werin danîn, wek jûreyên etching an depokirinê têne saz kirin.

* Materyal: Ji materyalên ku bi gazên reaktîf ên ku di pêvajoyên nîvconduktorê de têne bikar anîn, mîna metalê zirav an PTFE-yê lihevhatî têne çêkirin.

6. Parzûnên Gazê yên Inline

*Armanc: Ji bo gazên ku di pergala belavkirinê de diherikin parzûnkirina hundurîn peyda dike.

* Bikaranîn: Di nav xetên gazê de li nuqteyên sereke têne saz kirin, li seranserê pergalê fîlterasyona domdar peyda dike.

* Materyal: Pola zengarnegir an nîkelê zintirkirî da ku lihevhatina kîmyayî ya bi gazan re misoger bike.

7. Parzûnên Gazê yên Serê Çiyayê

*Armanc: Dê rasterast li ser pêkhateyên panelê yên gazê were danîn da ku perçe û gemarên molekulî ji holê rakin.

* Bikaranîn: Di cîhên teng de hevpar, van parzûnan di serîlêdanên krîtîk de fîlterasyona xala-karanîna bi bandor peyda dikin.

* Materyal: Pola zengarnegir a paqijiya bilind ji bo domdarî û lihevhatina bi gazên hilberîna nîvconductor re.

8. Parzûnên Sub-Mîkron

*Armanc: Parzûnkirina pariyên pir piçûk, bi gelemperî bi qasî pîvanên jêr-mîkronî, ku hîn jî dibe sedema kêmasiyên girîng di pêvajoyên nîvconductor de.

* Bikaranîn: Di pêvajoyên ku ji bo domandina dabînkirina gaza ultra-paqij, wek fotolîtografî, asta herî bilind a filtrasyonê hewce dike, tê bikar anîn.

* Materyal: Materyalên metal an seramîk ên ziravkirî yên bi tîrêjiya bilind ên ku dikarin bi bandor keriyên herî piçûk jî bixin bin çavan.

9. Parzûnên Karbonê yên Çalakkirî

*Armanc: Ji bo rakirina gemarên organîk û gazên gemar.

* Bikaranîn: Di serîlêdanên ku pêdivî ye ku nepaqijiyên gazê werin rakirin da ku pêşî li gemarîbûna wafer an tevliheviyên reaksiyonê bigire, tê bikar anîn.

* Materyal: Materyalên karbonê yên aktîfkirî yên ku ji bo vegirtina molekulên organîk hatine çêkirin.

10.Parzûnên Gazê yên Metal ên Sintered

*Armanc: Dema ku hêza avahîsaziyê û berxwedanê li hember tansiyona bilind pêşkêşî dike, ji bo rakirina parçik û nepakîyan bi bandor.

* Bikaranîn: Bi berfirehî di gelek qonaxên pêvajoya nîvconductor de ku fîlterkirinek bihêz hewce ye tê bikar anîn.

* Materyal: Bi gelemperî ji polayê zengarnegir an jî aligirên din ên metal têne çêkirin da ku li derdorên dijwar û kîmyewî bisekinin.

11.Parzûnên gazê yên hîdrofobîk

*Armanc: Ji bo pêşîlêgirtina şilbûn an buhara avê di nav herika gazê de, ya ku di hin pêvajoyên ku hesas in jî ji mîqdarên şilbûnê re girîng e.

* Bikaranîn: Pir caran di pêvajoyên mîna zuhakirina wafer an jî pîskirina plazmayê de tê bikar anîn.

* Materyal: Parzûnên hîdrofobîk, wek PTFE, ji bo ku gaz ji gemariya şilbûnê bêpar bimînin.

Van cûrbecûr fîlterên gazê bi baldarî li ser bingeha taybetmendiyên wan ên taybetî, lihevhatina materyalê, û guncan ji bo şert û mercên bêhempa yên pêvajoyên hilberîna nîvconductor têne hilbijartin. Kombînasyona rast a parzûnan ji bo domandina asta herî bilind a paqijiya gazê, misogerkirina aramiya pêvajoyê, û pêşîgirtina kêmasiyên di cîhazên nîvconductor de pêdivî ye.

Hin Pirs û Pirs di derbarê parzûnên gazê yên nîvconductor de

FAQ 1:

Parzûnên gazê yên nîvconductor çi ne û çima ew girîng in?

Parzûnên gazê yên nîvconductor di pêvajoya çêkirina nîvconductor de pêkhateyên krîtîk in.

Ew ji bo rakirina nepakî û gemaran ji gazên pêvajoyê hatine çêkirin, wek mînakoksîjan,

nîtrojen, hîdrojen û gazên cuda yên kîmyewî.

Van nepakî dikarin bi girîngî bandorê li kalîte, hilber û pêbaweriya cîhazên nîvconductor bikin.

Parzûnên gazê yên nîvconductor bi fîlterkirina bi bandorkerî herikên gazê re dibin alîkar ku:

1. Paqijiya bilind biparêzin:

Piştrast bikin ku gazên ku di pêvajoya çêkirinê de têne bikar anîn ji gemarên ku dikarin performansa cîhazê xirab bikin bêpar in.

2. Pêşîlêgirtina zirara amûrê:

Amûrên nîvconduktorê yên hesas ji pîvaz û qirêjiya kîmyewî biparêzin, ku dikare bibe sedema demdirêjî û tamîrkirina giran.

3. Hilberîna hilberê çêtir bikin:

Kêmkirin û têkçûnên ku ji ber nepakiyên gazê çêdibin kêm bikin, ku di encamê de hilberîna hilberînê bilindtir dike.

4. Pêbaweriya cîhazê zêde bikin:

Ji ber pirsgirêkên gemarîbûnê hilweşîna demdirêj a amûrên nîvconductor kêm bikin.

FAQ 2:

Cûreyên hevpar ên parzûnên gazê yên nîvconductor çi ne?

Gelek celeb parzûnên gazê di çêkirina nîvconductor de têne bikar anîn, ku her yek ji bo rakirina wan hatî çêkirin

cureyên taybetî yên qirêj.

Cûreyên herî gelemperî hene:

1. Parzûnên parçeyî:

Van parzûnan keriyên zexm, wek toz, fiber û pariyên metal, ji herikên gazê derdixin.

Ew bi gelemperî ji materyalên mîna fîlterên metal, seramîk, an membranê têne çêkirin.

2. Parzûnên kîmyewî:

Van parzûnan nepaqijiyên kîmyewî, wek buhara avê, hîdrokarbon û gazên gemarî radike.

Ew bi gelemperî li ser prensîbên adsorption an vegirtinê têne çêkirin, bi karanîna materyalên mîna karbona çalakkirî,

sîtên molekulî, an sorbentên kîmyewî.

3. Parzûnên hevgirtî:

Van parzûnan kapasîteyên parzûnên parzûn û kîmyewî bi hev re dihêlin da ku her du celeb jêbirin

contaminants. Ew bi gelemperî di serîlêdanên krîtîk de têne bikar anîn ku paqijiya bilind pêdivî ye.

FAQ 3:

Parzûnên gazê yên nîvconductor çawa têne hilbijartin û sêwirandin?

Hilbijartin û sêwirana parzûnên gazê yên nîvconductor çend faktoran vedihewîne, di nav de:

* Pêdiviyên paqijiya gazê:

Asta paqijiya xwestî ya ji bo herikîna gazê ya taybetî karûbar û kapasîteya filtrasyonê ya parzûnê diyar dike.

* Rêjeya herikînê û zextê:

Hêjmara gaza ku tê fîltrekirin û zexta xebitandinê bandorê li mezinahî, materyal û veavakirina parzûnê dike.

* Cûre û konseya gemarê:

Cûreyên taybetî yên gemarî yên ku di herika gazê de hene bijartina medya parzûnê û mezinahiya pora wê ferz dikin.

* Germahî û nemû:

Şert û mercên xebitandinê dikare bandorê li performansa fîlterê û temenê wê bike.

* Mesref û lêçûn:

Pêdivî ye ku lêçûna destpêkê ya parzûnê û hewcedariyên lênihêrîna domdar were hesibandin.

Bi baldarî nihêrîna van faktoran, endezyar dikarin fîlterên gazê yên ku bi taybetî re têkildar in hilbijêrin û sêwirînin

hewcedariyên pêvajoyek hilberîna nîvconductor.

Divê Parzûnên Gazê Kengî Di Hilberîna Semiconductor de werin guheztin?

Frekansa guheztina parzûnên gazê di hilberîna nîvconductor de bi çend faktoran ve girêdayî ye, di nav de celebê

pêvajo, asta gemaran, û celebek taybetî ya parzûna ku tê bikar anîn. Bi gelemperî, parzûnên gazê bi rêkûpêk têne guhertin

plansaziya lênêrînê ji bo pêşîgirtina li her xeterek vegirtinê,gelek caran her 6 heta 12 mehan, li gorî şert û mercên karanîna

û pêşniyarên ji hilberînerê parzûnê.

Lêbelê, nexşeyên veguheztinê dikarin li ser bingeha jîngeha xebitandinê pir cûda bibin. Bo nimûne:

*Pêvajoyên Girêde yên Girtî:

Ger ku parzûn li ber astên bilind bin dibe ku hewce be ku pir caran were guheztin

qirêjbûn an jî molekular.

* Serlêdanên krîtîk:

Di pêvajoyên ku paqijiya pir zêde daxwaz dikin (mînak, fotolîtografî), fîlter bi gelemperî têne guhertin

pêşîlêgirtin da ku qalîteya gazê têk neçe.

Çavdêriya zexta cûda ya li seranserê parzûnê rêbazek hevpar e ji bo destnîşankirina kengê pêdivî ye ku parzûnek were guheztin.

Her ku gemarî kom dibin, daketina zextê li seranserê parzûnê zêde dibe, ku kêmbûna karîgeriyê nîşan dide.

Girîng e ku fîlteran berî ku karbidestiya wan kêm bibe biguhezînin, ji ber ku her binpêkirina paqijiya gazê dikare bibe sedema kêmasiyên girîng,

hilberînê kêm bike, û hetta bibe sedema zirara amûrê.

Parzûnên gazê ji bo sepanên nîvconductor ji kîjan materyalan têne çêkirin?

Parzûnên gazê yên ku di sepanên nîvconductor de têne bikar anîn ji materyalên ku dikarin standardên paqijiya herî bilind biparêzin têne çêkirin

û li hember hawîrdorên dijwar ên ku di hilberînê de têne dîtin bisekinin. Materyalên gelemperî hene:

* Pola zengarnegir (316L): Ji ber berxwedana kîmyewî, hêza mekanîkî, û materyalê ku herî zêde tê bikar anîn

şiyana ku bi pîvanên pore yên rast bi karanîna teknolojiya sinterkirinê were çêkirin. Ji bo fîlterkirina herdu reaktîf jî maqûl e

û gazên bêhêz.

*PTFE (Polytetrafluoroethylene): PTFE materyalek kîmyewî ya bêhêz e ku ji bo parzûna pir reaktîf an gemarî tê bikar anîn

gazên. Ew xwedan lihevhatina kîmyewî û taybetmendiyên hîdrofobîk ên hêja ye, ku ew ji bo hestiyar-şermê îdeal dike

pêvajoyên.

*Nîkl û Hastelloy:

Van materyalan ji bo serîlêdanên germahiya bilind an ji bo pêvajoyên ku bi kîmyewî yên êrîşkar ve girêdayî têne bikar anîn

cihê ku pola zengarnegir dibe ku hilweşe.

*Kevirî:

Parzûnên seramîk ji bo serîlêdanên ku li wir berxwedana germahiya giran hewce ye, an jî ji bo sub-micron têne bikar anîn

Parzûnkirina pariyên.

Hilbijartina materyalê bi celebê gazê, hebûna celebên reaktîf, germahî, û

Parametreyên pêvajoyê yên din. Pêdivî ye ku materyal ne-reaktîf bin da ku pê ewle bibin ku ew ti nepakiyê dernaxin

an jî perçeyên di pêvajoyê de, bi vî rengî asta paqijiya gazê ya ku ji bo çêkirina nîvconductor hewce dike diparêze.

Rola Parzûnên Xala Bikaranînê (POU) Di Hilberîna Semiconductor de Çi ye?

Parzûnên Point-of-Use (POU) di hilberîna nîvconductor de bingehîn in, ji ber ku ew piştrast dikin ku gaz tavilê berî têne paqij kirin.

ketina nav amûrên pêvajoyê. Van parzûnan parastina dawîn li hember gemarên ku dibe ku ketine nav herika gazê peyda dikin

di dema hilanîn, veguhastin, an belavkirinê de, bi vî rengî aramiya pêvajoyê û kalîteya hilberê zêde dike.

Feydeyên sereke yên Parzûnên POU:

*Nêzîkî alavên krîtîk (mînak, jûreyên eqandin an depokirinê) hatine danîn da ku nehêle gemarî bigihîje waferê.

*Hem nepaqijiyên parzûn û molekulî yên ku ji hêla pergala xebitandina gazê ve an jî rûbirûbûna hawîrdorê ve têne derxistin ji holê rakin.

* Piştrast bikin ku qalîteya gazê ya herî gengaz ji amûra pêvajoyê re tê radest kirin, amûran diparêze û kalîteya amûrên çêkirî zêde dike.

* Guherbariya pêvajoyê kêm bikin, berberiyê zêde bikin, û astên kêmasiyê kêm bikin.

*Di hawîrdorên nîvconduktorê yên pêşkeftî de ku nepakiyên piçûk jî dikarin bi girîngî bandorê li hilberînerî û pêbaweriya hilberê bike, neçar in.

Parzûnên Gazê Di Pêvajoyên Semiconductor de Çawa Di Daxuyaniya Amûran de Dihêlin?

Parzûnên gazê ji ber ku gazên pêvajoyê bi domdarî bêpar in di pêvajoyên nîvconduktorê de rê li ber ketina amûran digire.

gemarên ku dikarin zirarê bidin alavên çêkirinê. Çêkirina semiconductor bi karanîna pir zêde ve girêdayî ye

alavên hesas, di nav de odeyên depokirinê, makîneyên etching plasma, û pergalên fotolîtografî.

Ger gemarên wekî toz, şil, an nepaqijiyên reaktîf bikevin van makîneyan, ew dikarin bibin sedema gelek pirsgirêkan,

ji girtina valves û nozzles bigire heya zirarê li rûberên wafer an hundurê reaktorê.

Bi karanîna fîlterên gazê yên qalîteya bilind, hilberîner pêşî li danasîna van gemaran digirin, îhtîmala

lênêrîna neplankirî û têkçûna alavên. Ev ji bo domandina nexşeyên hilberîna domdar, kêmkirina alîkariyê dike

demdirêjiya lêçûn, û dûrxistina lêçûnên girîng ên bi tamîrkirin an veguheztinê re têkildar in.

Wekî din, fîlterên baş-parastin dibin alîkar ku emrê hêmanên sereke dirêj bikin, wek kontrolkerên herikê, valves, û reaktoran,

bi vî rengî karbidestî û berjewendiya giştî ya pêvajoya hilberînê zêde dike.

Ji ber vê yekê piştî ku hin hûrguliyên di derbarê parzûnên gazê yên nîvconductor de kontrol bikin, heke hîn jî pirsên we hebin.

Ma hûn amade ne ku bi çareseriyên parzûna gazê yên qalîteya bilind pêvajoya hilberîna nîvconductor xweştir bikin?

Ji bo rêbernameya pispor û çareseriyên xwerû ku hewcedariyên we bicîh bînin îro bi HENGKO re têkilî daynin.

Piştî ku hin agahdariya hûrgulî li ser parzûna gazê ya nîvconductor kontrol kirin, heke we bêtir pirsên we hene?

Ma hûn amade ne ku bi çareseriyên parzûna gazê yên qalîteya bilind pêvajoya hilberîna nîvconductor xweştir bikin?

Ji bo rêbernameya pispor û çareseriyên xwerû ku hewcedariyên we bicîh bînin îro bi HENGKO re têkilî daynin.

E-nameyê ji me re bişîninka@hengko.comji bo bêtir agahîya.

Tîma me li vir e ku ji we re bibe alîkar ku hûn karîgeriya hilberîn û kalîteya hilberê xwe zêde bikin.